Rayfact TCシリーズ
- 基準倍率
- イメージサークル
- -5x ～ -10x
- Φ82mm
- Φ64mm
特長
- 物体側と像側の両側テレセントリック光学系
- 高解像大型ラインセンサカメラ（最大 5µm×16K、TC5-10x）対応
- 直筒ユニットとケーラー照明ユニット（TC5-10x）、同軸落射ユニット（TC5.2x）を用意
- TC5-10x可変倍率レンズはカスタムにて固定倍率も対応
- オプションにて各種カメラマウントに対応したアダプターマウントを提供可能
用途
- 次世代FPD製造工程の欠陥検査
- 半導体ウェハや次世代基板RDLの微細パターン検査
- 次世代通信を担う部材の外観検査
主要諸元
Rayfact TC5-10x 直筒タイプ（受注生産）
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact TC5-10x 直筒タイプ |
|---|---|
| 焦点距離[mm] | テレセントリックタイプ |
| 使用倍率範囲 | -5x ～ -10x |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ82 |
| マウント | M95（P=1） |
| フィルターサイズ | M67（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ145×485.1（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約5,700 |
光学仕様
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| 使用倍率 | -5x | -6x | -7x | -8x | -9x | -10x |
|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.2以上 | |||||
| 物像間距離[mm] | 509.1 | 509.5 | 510.6 | 511.8 | 513.0 | 514.2 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 14.6 | 15.1 | 16.1 | 17.3 | 18.5 | 19.7 |
| フランジバック[mm] | 9.4 | |||||
| 歪曲収差[%]※2 | +0.0 | +0.0 | +0.0 | +0.1 | +0.1 | +0.1 |
| 周辺照度比[%]※2 | 102.3 | 101.3 | 100.8 | 100.4 | 100.2 | 99.9 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=41mm）、絞り開放での数値となります。
Rayfact TC5-10x ケーラー照明タイプ（受注生産）
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact TC5-10x ケーラー照明タイプ |
|---|---|
| 焦点距離[mm] | テレセントリックタイプ |
| 使用倍率範囲 | -5x ～ -10x |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ82 |
| マウント | M95（P=1） |
| フィルターサイズ | M67（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | 213×120×502.2（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約7,700 |
光学仕様
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| 使用倍率 | -5x | -6x | -7x | -8x | -9x | -10x |
|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.2以上 | |||||
| 物像間距離[mm] | 526.2 | 526.6 | 527.6 | 528.8 | 530.1 | 531.3 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 14.6 | 15.1 | 16.1 | 17.3 | 18.5 | 19.7 |
| フランジバック[mm] | 9.4 | |||||
| 歪曲収差[%]※2 | +0.0 | -0.0 | +0.0 | +0.1 | +0.1 | +0.1 |
| 周辺照度比[%]※2 | 102.3 | 101.3 | 100.8 | 100.4 | 100.2 | 99.9 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=41mm）、絞り開放での数値となります。
Rayfact TC5.2x
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact TC5.2x 直筒タイプ | Rayfact TC5.2x 落射タイプ |
|---|---|---|
| 型式 | OFM52275HN-TS | OFM52275HN-TP |
| 焦点距離[mm] | テレセントリックタイプ | |
| 基準倍率 | -5.2x | |
| 使用波長域[nm] | 510 ～ 590 | |
| イメージサークル[mm] | Φ64 | |
| マウント | M72（P=0.75） | |
| フィルターサイズ | M72（P=0.75） | |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ145×550.7（マウント基準面より） | Φ145（一部：□119.5）×562.7（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約4,400 | 約5,900 |
光学仕様
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| NA | 0.2以上 | |
|---|---|---|
| 物像間距離[mm] | 612.1 | 624.0 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 54.8 | 54.8 |
| フランジバック[mm] | 6.56 | 6.56 |
| 歪曲収差[%]※2 | -0.0 | +0.0 |
| 周辺照度比[%]※2 | 101.0 | 101.0 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=32mm）、絞り開放での数値となります。
- 技術的進歩および改良に対応するため、製品の仕様、外観は予告なしに変更することがあります。
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