Rayfact RF可変倍率シリーズ
- 基準倍率
- イメージサークル
- 開放F値
- -1x ～ -6x
- Φ82mm
- F1.8
- Φ86.4mm
- F2.5
- F2.8
特長
- 可変倍率範囲で性能変化を抑えるため、フローティングを採用した光学設計
- 高解像大型ラインセンサカメラ（3.5µm×23K、5µm×16K）対応
- 物体側落射照明を想定した光学系プリズム最適化タイプを用意
- 最良な性能箇所をラインセンサに合わせる回転機構を装備
- オプションにて各種カメラマウントに対応したアダプター鏡筒を提供可能
用途
- フラットパネルディスプレイ（FPD）製造工程の欠陥検査
- 半導体ウェハや先端基板RDLの微細パターン検査
- 高機能素材・電子部品などの欠陥検査
主要諸元
- Rayfact RF3-6x
- Rayfact RF3-6x プリズムタイプ
- Rayfact RF2-5x
- Rayfact RF2-5x プリズムタイプ
- Rayfact RF1-2x
- Rayfact RF1-2x プリズムタイプ
Rayfact RF3-6x
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact RF3-6x |
|---|---|
| 型式 | BA01941 |
| 焦点距離[mm] | 108.1（-3x） |
| 使用倍率範囲 | -3x ～ -6x |
| Fナンバー（∞） | F1.8 |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ82 |
| マウント※3 | M67（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ110×166 ～ 160（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約2,500 |
光学仕様
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| 使用倍率 | -3x | -3.5x | -4x | -4.5x | -5x | -5.5x | -6x |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.2以上 | ||||||
| 物像間距離[mm] | 582.3 | 628.6 | 676.5 | 725.3 | 774.7 | 824.6 | 875.0 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 83.5 | 78.5 | 74.8 | 72.0 | 69.7 | 67.9 | 65.7 |
| フランジバック[mm] | 332.8 | 385.9 | 438.8 | 491.6 | 544.2 | 596.7 | 649.3 |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.1 | +0.1 | +0.1 | +0.1 | +0.0 | +0.0 | +0.0 |
| 周辺照度比[%]※2 | 91.6 | 95.1 | 97.3 | 98.5 | 98.9 | 99.1 | 99.2 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=41mm）、F1.8での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
Rayfact RF3-6x プリズムタイプ
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact RF3-6x プリズムタイプ |
|---|---|
| 型式 | BA01951 |
| 焦点距離[mm] | 108.1（-3x） |
| 使用倍率範囲 | -3x ～ -6x |
| Fナンバー（∞） | F1.8 |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ82 |
| マウント※3 | M67（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ110×166.1 ～ 160（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約2,450 |
光学仕様
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| 使用倍率 | -3x | -3.5x | -4x | -4.5x | -5x | -5.5x | -6x |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.2以上 | ||||||
| 物像間距離[mm] | 593.3 | 640.1 | 688.3 | 737.5 | 787.3 | 837.5 | 888.3 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 93.3 | 88.3 | 84.6 | 81.7 | 79.4 | 77.6 | 75.5 |
| フランジバック[mm] | 333.9 | 387.4 | 440.7 | 493.9 | 546.9 | 599.8 | 652.7 |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.1 | +0.1 | +0.1 | +0.0 | +0.0 | +0.0 | +0.0 |
| 周辺照度比[%]※2 | 91.7 | 95.2 | 97.4 | 98.5 | 98.9 | 99.0 | 99.2 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=41mm）、F1.8での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
Rayfact RF2-5x
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact RF2-5x |
|---|---|
| 型式 | L-OVM50167MN |
| 焦点距離[mm] | 116.2（-2x） |
| 使用倍率範囲 | -2x ～ -5x |
| Fナンバー（∞） | F2.5 |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ86.4 |
| マウント※3 | M67（P=0.75） |
| フィルターサイズ | M58（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ84×140（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約1,350 |
光学仕様
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| 使用倍率 | -2x | -2.5x | -3x | -3.5x | -4x | -4.5x | -5x | （-5.2x）※4 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.1以上 | |||||||
| 物像間距離[mm] | 503.6 | 550.4 | 601.0 | 653.8 | 707.9 | 763.0 | 818.7 | （841.1） |
| ワーキングディスタンス[mm] | 114.7 | 102.8 | 94.9 | 89.2 | 84.9 | 81.6 | 79.0 | （78.1） |
| フランジバック[mm] | 248.8 | 307.5 | 366.1 | 424.6 | 483.0 | 541.4 | 599.8 | （623.1） |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.1 | +0.0 | -0.0 | -0.0 | -0.0 | -0.0 | -0.0 | （-0.0） |
| 周辺照度比[%]※2 | 90.5 | 95.4 | 98.1 | 99.2 | 99.5 | 99.6 | 99.7 | （99.7） |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
- ※4-5.2xは指標を-5xに合わせて全体繰出しした時の数値となります。
Rayfact RF2-5x プリズムタイプ
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact RF2-5x プリズムタイプ |
|---|---|
| 型式 | L-OVM50170MN-BS |
| 焦点距離[mm] | 117.3（-2x） |
| 使用倍率範囲 | -2x ～ -5x |
| Fナンバー（∞） | F2.5 |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ86.4 |
| マウント※3 | M67（P=0.75） |
| フィルターサイズ | M58（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ84×140（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約1,350 |
光学仕様
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| 使用倍率 | -2x | -2.5x | -3x | -3.5x | -4x | -4.5x | -5x | （-5.2x）※4 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.1以上 | |||||||
| 物像間距離[mm] | 513.7 | 561.0 | 612.1 | 665.4 | 720.1 | 775.7 | 831.9 | （854.5） |
| ワーキングディスタンス[mm] | 119.8 | 107.8 | 99.8 | 94.0 | 89.7 | 86.4 | 83.7 | （82.8） |
| フランジバック[mm] | 253.9 | 313.2 | 372.3 | 431.4 | 490.3 | 549.3 | 608.3 | （631.8） |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.1 | -0.0 | -0.0 | -0.1 | -0.1 | -0.1 | -0.1 | （-0.0） |
| 周辺照度比[%]※2 | 88.2 | 93.3 | 96.2 | 97.5 | 98.1 | 98.6 | 99.0 | （99.1） |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
- ※4-5.2xは指標を-5xに合わせて全体繰出しした時の数値となります。
Rayfact RF1-2x
基本仕様
横にスクロールしてご覧ください。
| 製品名 | Rayfact RF1-2x |
|---|---|
| 型式 | L-OVM20117MN |
| 焦点距離[mm] | 104.5 (-1x) |
| 使用倍率範囲 | -1x ～ -2x |
| Fナンバー（∞） | F2.8 |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ86.4 |
| マウント※3 | M67（P=0.75） |
| フィルターサイズ | M67（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ90×156.8（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約1,750 |
光学仕様
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| 使用倍率 | -1x | -1.2x | -1.4x | -1.6x | -1.8x | -2x |
|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.09以上 | |||||
| 物像間距離[mm] | 434.9 | 439.8 | 449.6 | 462.5 | 477.6 | 494.2 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 172.0 | 154.3 | 141.5 | 131.7 | 124.0 | 117.7 |
| フランジバック[mm] | 106.2 | 128.7 | 151.3 | 174.0 | 196.8 | 219.7 |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.2 | +0.1 | +0.1 | +0.0 | -0.0 | -0.0 |
| 周辺照度比[%]※2 | 82.9 | 87.4 | 90.6 | 92.8 | 94.1 | 94.8 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=43.2mm）、F2.8での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
Rayfact RF1-2x プリズムタイプ
基本仕様
横にスクロールしてご覧ください。
| 製品名 | Rayfact RF1-2x プリズムタイプ |
|---|---|
| 型式 | L-OVM20118MN-BS |
| 焦点距離[mm] | 105.1 (-1x) |
| 使用倍率範囲 | -1x ～ -2x |
| Fナンバー（∞） | F2.8 |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 |
| イメージサークル[mm] | Φ86.4 |
| マウント※3 | M67（P=0.75） |
| フィルターサイズ | M67（P=0.75） |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ90×156.8（マウント基準面より） |
| 質量[g] | 約1,750 |
光学仕様
横にスクロールしてご覧ください。
| 使用倍率 | -1x | -1.2x | -1.4x | -1.6x | -1.8x | -2x |
|---|---|---|---|---|---|---|
| NA | 0.09以上 | |||||
| 物像間距離[mm] | 443.8 | 448.7 | 458.6 | 464.8 | 486.7 | 503.4 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 179.8 | 162.1 | 149.2 | 139.3 | 131.6 | 125.3 |
| フランジバック[mm] | 107.3 | 129.9 | 152.6 | 175.4 | 198.3 | 221.4 |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.2 | +0.1 | +0.0 | +0.0 | -0.0 | -0.0 |
| 周辺照度比[%]※2 | 82.2 | 86.8 | 90.1 | 92.4 | 93.8 | 94.5 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=43.2mm）、F2.8での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
- 技術的進歩および改良に対応するため、製品の仕様、外観は予告なしに変更することがあります。
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