Rayfact RF固定倍率シリーズ
- 基準倍率
- イメージサークル
- 開放F値
- -1.4x ～ -5x
- Φ86.4mm
- F2.5
- F2.8
特長
- 固定倍率タイプ：5機種（-1.4x、-1.75x、-2.5x、-3.5x、-5x 標準・プリズムタイプあり）を用意
- ラインナップ以外の固定倍率もカスタム対応可能
- 高解像大型ラインセンサカメラ（3.5µm×23K、5µm×16K）対応
- 物体側落射照明を想定した光学系プリズム最適化タイプを用意
- オプションにて各種カメラマウントに対応したアダプター鏡筒を提供可能
用途
- フラットパネルディスプレイ（FPD）製造工程の欠陥検査
- 半導体ウェハや先端基板RDLの微細パターン検査
- 高機能素材・電子部品などの欠陥検査
主要諸元
- Rayfact RF1.4x / RF1.4x プリズムタイプ / RF1.75x / RF1.75x プリズムタイプ
- Rayfact RF2.5x / RF2.5x プリズムタイプ / RF3.5x / RF3.5プリズムタイプ
- Rayfact RF5x / RF5x プリズムタイプ
Rayfact RF1.4x / RF1.4x プリズムタイプ / RF1.75x / RF1.75x プリズムタイプ
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact RF1.4x | Rayfact RF1.4x プリズムタイプ | Rayfact RF1.75x | Rayfact RF1.75x プリズムタイプ |
|---|---|---|---|---|
| 型式 | L-OFM14105MN | L-OFM14105MN-BS | L-OFM175112MN | L-OFM175113MN-BS |
| 焦点距離[mm] | 105.9 | 106.4 | 106.9 | 106.9 |
| 基準倍率 | -1.4x | -1.75x | ||
| Fナンバー（∞） | F2.8 | |||
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 | |||
| イメージサークル[mm] | Φ86.4 | |||
| マウント※3 | M67（P=0.75） | |||
| フィルターサイズ | M67（P=0.75） | |||
| 外形寸法[mm]※1 | Φ89×159.8（マウント基準面より） | |||
| 質量[g] | 約1,450 | |||
光学仕様
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| NA | 0.1以上 | |||
|---|---|---|---|---|
| 物像間距離[mm] | 449.6 | 458.6 | 473.7 | 482.8 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 141.5 | 149.2 | 125.8 | 133.4 |
| フランジバック[mm] | 151.3 | 152.6 | 191.1 | 192.6 |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.0 | +0.0 | -0.0 | -0.0 |
| 周辺照度比[%]※2 | 90.6 | 90.1 | 93.8 | 93.8 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=43.2mm）、F2.8での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
Rayfact RF2.5x / RF2.5x プリズムタイプ / RF3.5x / RF3.5プリズムタイプ
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact RF2.5x | Rayfact RF2.5x プリズムタイプ | Rayfact RF3.5x | Rayfact RF3.5x プリズムタイプ |
|---|---|---|---|---|
| 型式 | L-OFM25143MN | L-OFM25144MN-BS | L-OFM35156MN | L-OFM35157MN-BS |
| 焦点距離[mm] | 116.3 | 117.4 | 116.3 | 117.5 |
| 基準倍率 | -2.5x | -3.5x | ||
| Fナンバー（∞） | F2.5 | |||
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 | |||
| イメージサークル[mm] | Φ86.4 | |||
| マウント※3 | M67（P=0.75） | |||
| フィルターサイズ | M58（P=0.75） | |||
| 外形寸法[mm]※1 | Φ83×140（マウント基準面より） | |||
| 質量[g] | 約1,200 | |||
光学仕様
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| NA | 0.1以上 | |||
|---|---|---|---|---|
| 物像間距離[mm] | 550.4 | 561.0 | 653.8 | 655.4 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 102.8 | 107.8 | 89.2 | 94.0 |
| フランジバック[mm] | 307.5 | 313.2 | 424.6 | 431.4 |
| 歪曲収差[%]※2 | +0.0 | -0.0 | -0.0 | -0.1 |
| 周辺照度比[%]※2 | 95.4 | 93.3 | 99.2 | 97.5 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
Rayfact RF5x / RF5x プリズムタイプ
基本仕様
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| 製品名 | Rayfact RF5x | Rayfact RF5x プリズムタイプ |
|---|---|---|
| 型式 | L-OFM50167MN | L-OFM50170MN-BS |
| 焦点距離[mm] | 116.4 | 117.5 |
| 基準倍率 | -5x | |
| Fナンバー（∞） | F2.5 | |
| 使用波長域[nm] | 400 ～ 700 | |
| イメージサークル[mm] | Φ86.4 | |
| マウント※3 | M67（P=0.75） | |
| フィルターサイズ | M58（P=0.75） | |
| 外形寸法[mm]※1 | Φ83×140（マウント基準面より） | |
| 質量[g] | 約1,200 | |
光学仕様
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| NA | 0.1以上 | |
|---|---|---|
| 物像間距離[mm] | 818.7 | 831.9 |
| ワーキングディスタンス[mm] | 79.0 | 83.6 |
| フランジバック[mm] | 599.8 | 608.3 |
| 歪曲収差[%]※2 | -0.0 | -0.1 |
| 周辺照度比[%]※2 | 99.7 | 99.0 |
- ※1ロックねじなどの突起物は含まない寸法です。
- ※2最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
- ※3カメラへの取り付けは、カメラマウントに適合する適切な延長鏡筒及びカメラマウントパーツを使用してください。
- 技術的進歩および改良に対応するため、製品の仕様、外観は予告なしに変更することがあります。
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