合成石英ガラス（NIFSシリーズ）
NIFSシリーズは、ニコン創設以来100年以上の光学分野における経験をもとに開発・製造している合成石英ガラスです。
合成石英ガラスは、一般的に、不純物が少ない、透過性に優れる、耐熱性に優れるといった特長をもっています。NIFSシリーズは、上記の特長はもちろん、さらに優れた光学特性を持った石英ガラスです。使用する用途やサイズ、使用波長などの光学特性に応じて、各種グレードからお選びいただけます。
アプリケーション
- 紫外線、高出力レーザ用光学部品
- 半導体／FPDフォトマスク用合成石英ガラス基板
- 露光装置用レンズ・光学部品
- 産業用検査装置用レンズ・光学部品
- 石英ガラスウェハ
- TFT、CCDなど、各種デバイス用基板
- 天文分野向け光学部品
- 医療分野向け光学部品
- 半導体製造用部材
- ※上記以外の用途もご相談ください。
グレードと主な特長
横にスクロールしてご覧ください。
| グレード | 推奨波長域 | 特長 |
|---|---|---|
| NIFS-V | ArF（193 nm） | ArFエキシマレーザ（193 nm）までの透過率を保証しており、さらにきわめて高いレーザ耐久性を持つグレードです。 |
| NIFS-A | ArF（193 nm） | ArFエキシマレーザ（193 nm）までの透過率を保証しているグレードです。 |
| NIFS-U | KrF（248 nm） | KrFエキシマレーザ（248 nm）までの透過率を保証しているグレードです。 |
| NIFS-S | 紫外領域・可視領域 | 一般的なグレードです。i線（365 nm）や可視光を用いた光学系に最適です。2,000 mm角までの大型高品質素材の提供が可能です。 |
| NIFS-I | 非光学用途 | 光学系以外に使用するグレードです。ミラー用途などに最適です。2,000 mm角までの素材の提供が可能です。 |
紫外波長における各グレードの透過領域
- ※当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
- ※各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。
各特性の詳細はこちらをご覧ください。
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