フッ化カルシウム（蛍石）（NICFシリーズ）
NICFシリーズは、厳しい精度と耐久性が必要な半導体露光装置向けレンズ用として、長年研究開発されてきました。
紫外用途だけではなく、可視・赤外領域においても品質の良い単結晶素材です。
アプリケーション
- 紫外線、高出力レーザ用の光学部品
- 露光装置用レンズ・光学部品
- 産業用検査装置用レンズ・光学部品
- カメラレンズ
- 天体望遠鏡レンズ
- ※上記以外の用途もご相談ください。
グレードと主な特長
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| グレード | 推奨波長域 | 特長 |
|---|---|---|
| NICF-V | 真空紫外領域 ArF（193 nm） |
200 nm以下の真空紫外領域までの透過率を保証しており、きわめて高いレーザ耐久性を持つグレードです。 |
| NICF-A | ArF（193 nm） | ArFエキシマレーザ（193 nm）までの透過率を保証しているグレードです。 |
| NICF-U | KrF（248 nm） | KrFエキシマレーザ（248 nm）までの透過率を保証しているグレードです。 |
| NICF-S | 紫外領域・可視領域 | 一般的なグレードです。i線（365 nm）や可視光を用いた光学系に最適です。 |
| 可視・赤外領域 | 可視・赤外領域に最適化したグレードです。 |
紫外波長における各グレードの透過領域
- ※当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
- ※各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。
各特性の詳細はこちらをご覧ください。
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