i線用光学ガラス
i線(365 nm)の波長に対して高い透過率を有する光学ガラスです。
ニコンでは光学分野における豊富な経験を活かし、独自の組成を開発。専用製造装置と高度なノウハウを駆使して、高品質なi線用光学ガラスを製造しています。

アプリケーション
- 露光装置用レンズ・光学部品
- 産業用検査装置用レンズ・光学部品
- 各種観測機器用レンズ・光学部品
- ※上記以外の用途もご相談ください。
i線用光学ガラスの主な特長
- 幅広いラインナップ
独自の組成により、高屈折率タイプ(7054)から低分散タイプ(4786)まで、多様なニーズに応える製品ラインナップを実現しました。 - i線(365 nm)における優れた透過率
高純度を追求した厳しい原材料の選定と管理、製造プロセスの最適化により、ガラス中の不純物濃度を極限まで低減。i線波長における高透過率を実現しました。 - 屈折率均質性
製造方法の最適化に加え、熱処理プロセスを厳密に管理することにより、卓越した屈折率均質性を実現しました。 - 耐ソラリゼーション
独自の組成・原材料・製造プロセスにより、優れた耐ソラリゼーションを実現しました。
ラインナップ
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硝種名 | 4786 | 5859 | 5742 | 5165 | 7054 | |
---|---|---|---|---|---|---|
屈折率 nd | 1.47410 | 1.59042 | 1.57653 | 1.51183 | 1.70623 | |
分散 νd | 86.8 | 59.5 | 42.1 | 65.0 | 54.7 | |
10 mm 内部透過率 (365 nm)τi |
99.8% | 99.7% | 99.6% | 99.8% | 99.4% | |
屈折率 ni | 1.48726 | 1.61450 | 1.61265 | 1.53073 | 1.73811 | |
ni ロット内バラツキ (×10-5) |
2 | 2 | 2 | 10 | 10 | |
ソラリゼーション | 良好 | 良好 | 良好 | 良好 | 良好 |
- ※10 mm内部透過率(代表値):厚さ10 mmのガラス中をi線(365 nm)が何%透過するのかを示します。(表面反射損失は含みません)
- ※屈折率(ni)(代表値):i線(365 nm)における屈折率を示します。要求品質によっては長いアニールが必要となるため、屈折率の値が変化します。当社規定のアニールをした場合の値です。
- ※niロット内バラツキ(保証値):同一ポットかつ同一アニールにおける部品のniのバラツキを示します。
- ※ソラリゼーション:超高圧水銀灯の照射による透過率低下を示します。照射前の分光透過率80%に対する波長において、照射後の透過率低下で示します。

透過率

- ※当ページに掲載する各データは代表値であり保証値ではありません。
- ※各種サイズ、詳細仕様についてはご相談ください。
各特性の詳細はこちらをご覧ください。
- i線用光学ガラス( PDF:1.31MB)

- Zemax( agf形式 zipデータでダウンロード:56KB)2019.11更新
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