光学素材・光学部品

ニコンの光学素材は、限界的な精度と耐久性が要求される半導体露光装置、FPD露光装置に組み込まれた光源に対応するために開発されてきました。最新の分析・計測技術による物性評価を通じて、お客様のニーズに応じた仕様特性、グレード、量産品質を保証しています。

合成石英ガラス（NIFSシリーズ）

真空紫外領域におけるレーザ耐久性および透過率に優れた素材から、可視領域に適した素材にいたるまで、用途に応じた仕様で提供します。

不純物濃度を極限にまで低減し、真空紫外領域において優れたレーザ耐久性を実現した単結晶素材から、可視・赤外領域に適した素材にいたるまで、用途に応じた仕様で提供します。

光学分野における豊富な経験を活かし、独自の組成を開発。専用製造装置と高度なノウハウを駆使して、高品質なi線用光学ガラスを提供します。

一般光学ガラスは、光ガラス株式会社で取り扱っております。詳細は光ガラス株式会社のホームページをご覧ください。

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