大口径高精細産業用レンズ

  • 基準倍率
  • イメージサークル
  • 開放F値
  • -1.4x～-7x
  • Φ86.4mm
  • F2.8
  • Φ64mm
  • F2.5

特長

  • 物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプも準備（同軸落射：厚み25mm）
  • 同軸落射用プリズムユニット（厚み：25mm）取り扱いあり
  • イメージサークルΦ86.4mm。高解像大型ラインセンサーカメラ対応：3.5µm x 23K/5µm x 16K（Rayfact 1.4S/1.75S）、5µm x 16K/5.2µm x 12K（Rayfact 2.5S/3.5S/5S）
  • 使用倍率範囲内での性能差が少なく、倍率全域において性能を確保
  • 絞りロックねじ、フローティングリングのロックねじを装備
  • 固定倍率タイプ：5機種（1.4倍・1.75倍・2.5倍・3.5倍・5倍 プリズムタイプ用あり）
  • 固定倍率タイプ：5機種以外でもカスタムにて対応可能

用途

  • 画素数の多いラインセンサーカメラによる検査
  • フラットパネルディスプレイ基板の微細パターン検査
  • プリント基板などの微細パターン検査
  • 半導体ウェハなどの微細パターン検査

主要諸元

Rayfact 1.4倍S / 1.75倍S

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型式 L-OFM14105MN L-OFM175112MN
焦点距離 105.9mm 106.9mm
Fナンバー（∞） F2.8
NA 0.105 0.112
基準倍率 -1.4x -1.75x
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ Φ61.7mm Φ49.4mm
歪曲収差 ※1 ＋0.1% -0.0%
周辺照度比 ※1 90.6% 93.8%
絞り目盛 2.8　4　5.6　8　11
物像間距離 449.6mm 473.7mm
ワーキングディスタンス 141.5mm 125.8mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 151.3mm 191.1mm
フィルターサイズ M67（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ89mm x 156.8mm
質量 約1450g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.8での数値となります。
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 1.4倍S / 1.75倍S プリズム対応

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型式 L-OFM14105MN-BS L-OFM175113MN-BS
焦点距離 106.4mm 106.9mm
Fナンバー（∞） F2.8
NA 0.105 0.113
基準倍率 -1.4x -1.75x
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ Φ61.7mm Φ49.4mm
歪曲収差 ※1 ＋0.0% -0.0%
周辺照度比 ※1 90.1% 93.8%
絞り目盛 2.8　4　5.6　8　11
物像間距離 458.6mm 482.8mm
ワーキングディスタンス 149.2mm 133.4mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 152.6mm 192.6mm
フィルターサイズ M67（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ89mm x 156.8mm
質量 約1450g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.8での数値となります。
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 2.5倍S / 3.5倍S

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型式 L-OFM25143MN L-OFM35156MN
焦点距離 116.3mm
Fナンバー（∞） F2.5
NA 0.143 0.156
基準倍率 -2.5x -3.5x
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ Φ34.6mm Φ24.7mm
歪曲収差 ※1 +0.0% -0.0%
周辺照度比 ※1 95.4% 99.2%
絞り目盛 2.5　4　5.6　8　11
物像間距離 550.4mm 653.8mm
ワーキングディスタンス 102.8mm 89.2mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 307.5mm 424.6mm
フィルターサイズ M58（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ83mm x 140mm
質量 約1200g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 2.5倍S / 3.5倍S プリズム対応

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型式 L-OFM25144MN-BS L-OFM35157MN-BS
焦点距離 117.4mm 117.5mm
Fナンバー（∞） F2.5
NA 0.144 0.157
基準倍率 -2.5x -3.5x
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ Φ34.6mm Φ24.7mm
歪曲収差 ※1 -0.0% -0.1%
周辺照度比 ※1 93.3% 97.5%
絞り目盛 2.5　4　5.6　8　11
物像間距離 561mm 665.4mm
ワーキングディスタンス 107.8mm 94mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 313.2mm 431.4mm
フィルターサイズ M58（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ83mm x 140mm
質量 約1200g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 5倍S

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型式 L-OFM50167MN
焦点距離 116.4mm
Fナンバー（∞） F2.5
NA 0.167
基準倍率 -5x
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ Φ17.3mm
歪曲収差 ※1 -0.0%
周辺照度比 ※1 99.7%
絞り目盛 2.5　4　5.6　8　11
物像間距離 818.7mm
ワーキングディスタンス 79mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 599.8mm
フィルターサイズ M58（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ83mm x 140mm
質量 約1200g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 5倍S プリズム対応

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型式 L-OFM50170MN-BS
焦点距離 117.5mm
Fナンバー（∞） F2.5
NA 0.170
基準倍率 -5x
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ Φ17.3mm
歪曲収差 ※1 -0.1%
周辺照度比 ※1 99.0%
絞り目盛 2.5　4　5.6　8　11
物像間距離 831.9mm
ワーキングディスタンス 83.6mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 608.3mm
フィルターサイズ M58（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ83mm x 140mm
質量 約1200g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。
  • 技術的進歩および改良に対応するため、製品の仕様、外観は予告なしに変更することがあります。
  • 本製品について、詳細データなどのご要望がある場合は弊社までお問い合わせください。

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