大口径高精細産業用変倍レンズ

  • 基準倍率
  • イメージサークル
  • 開放F値
  • -1x～-2x
  • Φ86.4mm
  • F2.8
  • -2x～-5x
  • F2.5

特長

  • 1本のレンズで-1倍～-2倍までフローティング可能（Rayfact 1-2倍）
  • 1本のレンズで-2倍～-5倍までフローティング可能（Rayfact 2-5倍）
  • 物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプも準備（同軸落射：厚み25mm）（Rayfact 1-2倍、Rayfact 2-5倍）
  • 同軸落射用プリズムユニット（厚み：25mm）取り扱いあり
  • イメージサークルΦ86.4mm、高解像大型ラインセンサーカメラ対応
    • 大型ラインセンサー：3.5µm x 23K / 5µm x 16K 対応（Rayfact 1-2倍）
    • 大型ラインセンサー：5µm x 16K / 5.2µm x 12K 対応（Rayfact 2-5倍）
  • 使用倍率範囲内での性能差が少なく、倍率全域において性能を確保
  • 絞りロックねじ、フローティングリングのロックねじを装備
  • 絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるように、絞りリング・フローティングリングにギアを搭載

用途

  • 画素数の多いラインセンサーカメラによる検査
  • フラットパネルディスプレイ基板の微細パターン検査
  • プリント基板などの微細パターン検査
  • 半導体ウェハなどの微細パターン検査

主要諸元

Rayfact 1-2倍 変倍

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型式 L-OVM20117MN
使用倍率範囲 -1x～-2x
倍率 -1x -1.2x -1.4x -1.6x -1.8x -2x
焦点距離 105.1mm
Fナンバー（∞） F2.8
NA 0.092 0.099 0.105 0.109 0.113 0.117
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ ※1 Φ86.4mm Φ72mm Φ61.7mm Φ54mm Φ48mm Φ43.2mm
歪曲収差 ※1 ＋0.2% ＋0.1% +0.1% ＋0.0% -0.0% -0.0%
周辺照度比 ※1 82.9% 87.4% 90.6% 92.8% 94.1% 94.8%
絞り目盛 2.8　4　5.6　8　11
物像間距離 434.9mm 439.8mm 449.6mm 462.5mm 477.6mm 494.2mm
ワーキングディスタンス 172.0mm 154.3mm 141.5mm 131.7mm 124.0mm 117.7mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 106.2mm 128.7mm 151.3mm 174.0mm 196.8mm 219.7mm
フィルターサイズ M67（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ90mm x 156.8mm
質量 約1750g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.8での数値となります。（各1/2段絞りは目盛線のみ）
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 1-2倍 変倍 プリズム対応

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型式 L-OVM20118MN-BS
使用倍率範囲 -1x～-2x
倍率 -1x -1.2x -1.4x -1.6x -1.8x -2x
焦点距離 105.1mm（-1x）
Fナンバー（∞） F2.8
NA 0.092 0.099 0.105 0.110 0.114 0.118
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400nm～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ ※1 Φ86.4mm Φ72mm Φ61.7mm Φ54mm Φ48mm Φ43.2mm
歪曲収差 ※1 ＋0.2% ＋0.1% +0.0% ＋0.0% -0.0% -0.0%
周辺照度比 ※1 82.2% 86.8% 90.1% 92.4% 93.8% 94.5%
絞り目盛 2.8　4　5.6　8　11
物像間距離 443.8mm 448.7mm 458.6mm 464.8mm 486.7mm 503.4mm
ワーキングディスタンス 179.8mm 162.1mm 149.2mm 139.3mm 131.6mm 125.3mm
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 107.3mm 129.9mm 152.6mm 175.4mm 198.3mm 221.4mm
フィルターサイズ M67（P=0.75）
外形寸法 ※2 Φ90mm x 156.8mm
質量 約1750g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.8での数値となります。物体～レンズ間に厚み25mmのプリズム（BK7相当）を配置した場合の数値となります。
  • ※2 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 2-5倍 変倍

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型式 L-OVM50167MN
使用倍率範囲 -2x～-5x
倍率 -2x -2.5x -3x -3.5x -4x -4.5x -5x （-5.2x）
※2
焦点距離 116mm
Fナンバー（∞） F2.5
NA 0.133 0.143 0.15 0.156 0.16 0.164 0.167 0.168
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ ※1 Φ43.2
mm		 Φ34.6
mm		 Φ28.8
mm		 Φ24.7
mm		 Φ21.6
mm		 Φ19.2
mm		 Φ17.3
mm		 （Φ16.6
mm）
歪曲収差 ※1 +0.1% +0.0% -0.0% -0.0% -0.0% -0.0% 0.0% （-0.0%）
周辺照度比 ※1 90.5% 95.4% 98.1% 99.2% 99.5% 99.6% 99.7% （99.7%）
絞り目盛 2.5　2.8　4　5.6　8　11
物像間距離 503.6
mm		 550.4
mm		 601.0
mm		 653.8
mm		 707.9
mm		 763.0
mm		 818.7
mm		 （841.1
mm）
ワーキングディスタンス 114.7
mm		 102.8
mm		 94.9
mm		 89.2
mm		 84.9
mm		 81.6
mm		 78.9
mm		 （78.0
mm）
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 248.8
mm		 307.5
mm		 366.1
mm		 424.6
mm		 483.0
mm		 541.4
mm		 599.8
mm		 （623.1
mm）
フィルターサイズ M58（P=0.75）
外形寸法 ※3 Φ84mm x 140mm
質量 約1350g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。
  • ※2 -5.2xは指標を-5xに合わせて全体繰出しした時の数値となります。
  • ※3 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 2-5倍 変倍 プリズム対応

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型式 L-OVM50170MN-BS
使用倍率範囲 -2x～-5x
倍率 -2x -2.5x -3x -3.5x -4x -4.5x -5x （-5.2x）※2
焦点距離 117mm
Fナンバー（∞） F2.5
NA 0.133 0.144 0.151 0.157 0.162 0.166 0.17 0.171
基準波長 546.07nm（e-line）
使用波長域 400～700nm
イメージサークル Φ86.4mm
物体サイズ ※1 Φ43.2
mm		 Φ34.6
mm		 Φ28.8
mm		 Φ24.7
mm		 Φ21.6
mm		 Φ19.2
mm		 Φ17.3
mm		 （Φ16.6
mm）
歪曲収差 ※1 +0.1% -0.0% -0.0% -0.1% -0.1% -0.1% -0.1% （-0.0%）
周辺照度比 ※1 88.2% 93.3% 96.2% 97.5% 98.1% 98.6% 99.0% （99.1%）
絞り目盛 2.5　2.8　4　5.6　8　11
物像間距離 513.7
mm		 561
mm		 612.1
mm		 665.4
mm		 720.1
mm		 775.7
mm		 831.9
mm		 （854.5
mm）
ワーキングディスタンス 119.8
mm		 107.8
mm		 99.8
mm		 94
mm		 89.9
mm		 86.4
mm		 83.6
mm		 （82.7
mm）
マウント M67（P=0.75）
フランジバック 253.9
mm		 313.2
mm		 372.3
mm		 431.4
mm		 490.3
mm		 549.3
mm		 608.3
mm		 （631.8
mm）
フィルターサイズ M58（P=0.75）
外形寸法 ※3 Φ84mm x 140mm
質量 約1350g
  • ※1 最大像高（Y'=43.2mm）、F2.5での数値となります。物体～レンズ間に厚み25mmのプリズム（BK7相当）を配置した場合の数値となります。
  • ※2 -5.2xは指標を-5xに合わせて全体繰出しした時の数値となります。
  • ※3 ロックねじおよびマウントねじは含まない寸法となります。
  • 技術的進歩および改良に対応するため、製品の仕様、外観は予告なしに変更することがあります。
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