ラインセンサー用高性能レンズ

  • 基準倍率
  • イメージサークル
  • 解放F値
  • -0.14x~-5.2x
  • ⌀64mm
  • F4.9
  • ⌀62mm

特長

  • 高解像大型ラインセンサーカメラ対応
  • 7µm x 8K / 5µm x 12Kラインセンサーカメラに適した光学設計
  • 中心から周辺部まで高性能、均一性を確保
  • 絞り開放で最高の性能を発揮する光学系
  • イメージサークル⌀64mmにて高い周辺照度比を実現(5.2倍・7倍)
  • 両側テレセントリック光学系(5.2倍・7倍)

用途

  • 画素数の多いラインセンサーカメラによる検査
  • フラットパネルディスプレイ基板の微細パターン検査
  • プリント基板などの微細パターン検査
  • 半導体ウエハなどの微細パターン検査
  • 印刷物の検査

主要諸元

Rayfact 5.2倍(直筒タイプ)/ Rayfact 7倍(直筒タイプ 受注生産)

型式 OFM52275HN-TS OFM70350HN-TS
焦点距離 両側テレセントリック
NA 0.275 0.35
基準倍率 -5.2x -7x
基準波長 546.07nm(e-line)
使用波長域 510~590nm
イメージサークル ⌀64mm
物体サイズ ⌀12.3mm ⌀9.1mm
歪曲収差 ※1 -0.0% +0.0%
周辺照度比 ※1 101% 103%
絞り目盛 固定絞り
物像間距離 612.1mm 613.9mm
ワーキングディスタンス 54.8mm 54.85mm
マウント M72(P=0.75)
フランジバック 6.56mm 19.55mm
フィルターサイズ M72(P=0.75) M96(P=1.0)
外形寸法 ※2 ⌀145mm x 550.7mm ⌀145mm x 539.2mm
質量 約4.4kg 約7.4kg
  • ※1 最大像高(Y'=32mm)での数値となります。
  • ※2 マウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact 5.2倍(落射タイプ)/ Rayfact 7倍(落射タイプ 受注生産)

型式 OFM52275HN-TP OFM70350HN-TP
焦点距離 両側テレセントリック
NA 0.275 0.35
基準倍率 -5.2x -7x
基準波長 546.07nm(e-line)
使用波長域 510~590nm
イメージサークル ※1 ⌀64mm
物体サイズ ⌀12.3mm ⌀9.1mm
歪曲収差 ※2 -0.0% +0.0%
周辺照度比 ※2 101% 103%
絞り目盛 固定絞り
物像間距離 624.0mm 624.5mm
ワーキングディスタンス 54.8mm 54.85mm
マウント M72(P=0.75)
フランジバック 6.56mm 19.55mm
フィルターサイズ M72(P=0.75) M96(P=1.0)
外形寸法 ※3 ⌀145mm(一部:119.5mm)x 562.7mm ⌀145mm(一部:119.5mm)x 549.8mm
質量 約5.9kg 約8.9kg
  • ※1 ラインセンサー用レンズとなります。
  • ※2 最大像高(Y'=32mm)での数値となります。
  • ※3 マウントねじは含まない寸法となります。

Rayfact VW 0.14倍 / 0.25倍

型式 L-OFM014012MN L-OFM025020MN
焦点距離 125.5mm 124.9mm
Fナンバー(∞) F4.9
NA 0.013 0.02
基準倍率 -0.14x -0.25x
使用倍率範囲 -0.1x~-0.18x -0.18x~-0.28x
基準波長 546.07nm(e-line)
使用波長域 400~700nm
イメージサークル ⌀62mm
物体サイズ ※1 ⌀442.9mm ⌀248.0mm
歪曲収差 ※1 +0.0% -0.1%
周辺照度比 ※1 90.9% 93.4%
絞り目盛 4.9 5.6 8 11
物像間距離 ※1 1144.6mm 761.1mm
ワーキングディスタンス ※1 960.2mm 562.9mm
マウント M55(P=0.75)
フランジバック ※1 120.0mm 133.9mm
フィルターサイズ M55(P=0.75)
外形寸法 ※2 ⌀73.5mm x 98.7mm ⌀73.5mm x 97.7mm
質量 約740g
  • ※1 基準倍率・最大像高(Y'=31mm)、F4.9での数値となります。
  • ※2 ロックねじは含まない寸法となります。

Rayfact VW 0.35倍

型式 L-OFM035026MN
焦点距離 125.2mm
Fナンバー(∞) F4.9
NA 0.026
基準倍率 -0.35x
使用倍率範囲 -0.28x~-0.4x
基準波長 546.07nm(e-line)
使用波長域 400~700nm
イメージサークル ⌀62mm
物体サイズ ※1 ⌀177.1mm
歪曲収差 ※1 -0.1%
周辺照度比 ※1 94.3%
絞り目盛 4.9 5.6 8 11
物像間距離 ※1 631.7mm
ワーキングディスタンス ※1 419.8mm
マウント M55(P=0.75)
フランジバック ※1 147.5mm
フィルターサイズ M55(P=0.75)
外形寸法 ※2 ⌀73.5mm x 97.7mm
質量 約740g
  • ※1 基準倍率・最大像高(Y'=31mm)、F4.9での数値となります。
  • ※2 ロックねじは含まない寸法となります。
  • ・技術的進歩および改良に対応するため、製品の仕様、外観は予告なしに変更することがあります。
  • ・本製品について、詳細データなどのご要望がある場合は弊社までお問い合わせください。

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INDUSTRIAL LENSES(PDF:3.73MB)